V oblasti výroby polovodičov alebo tekutých kryštálov sa integrácia zariadení v posledných rokoch zvýšila. Pri výrobe zariadenia nazývaného veľmi veľký integrovaný obvod sa vyžaduje jemný vzor 1 mikrónov alebo menej. V takomto výrobnom procese sa na vzore vedenia ukladá alebo adsorbuje jemný prach alebo veľmi malé množstvo nečistôt plynu, čo vedie k zlyhaniu obvodu. Preto je potrebné, aby v týchto plynoch mohlo existovať reakčný plyn aj nosný plyn s vysokou čistotou, to znamená len niekoľko častíc a nečistôt plynu. Z tohto dôvodu je potrebné, aby kapilárna trubica z nehrdzavejúcej ocele alebo člen použil takýto plyn s vysokou čistotou a jeho vnútorný povrch sa používa ako znečisťujúca látka na vyžarovanie znečisťujúcich látok, len s minimálnym množstvom častíc a plynu. Okrem inertných plynov, ako je dusík a argón, sa ako plyny na výrobu polovodičov používajú aj mnohé plyny nazývané špeciálne plyny. Príklady špeciálnych plynov zahŕňajú korozívne plyny, ako je chlór, chlorid vodíka a bromid vodíka, a chemicky nestabilné plyny, ako je siláž. Prvý vyžaduje odolnosť proti korózii plynu, zatiaľ čo druhý vyžaduje nekalytický výkon.
S cieľom znížiť ukladanie alebo adsorpciu prachu alebo vody bol vnútorný povrch časti používanej na výrobu polovodičového plynu vyhladený, až kým jeho drsnosť povrchu Rmax nie je 1 mikrónov alebo menej. Ako spôsob vyhladenia vnútorného povrchu alebo častí potrubia sa môže použiť kresba za studena, mechanické leštenie, chemické leštenie, leštenie alebo ich kombinácia. Vysoko hladký materiál s hodnotou 1 mikrónov alebo menej sa však získava hlavne elektrolytickým leštením. Vnútorný povrch potrubia alebo podobne sa vyhladí, potom sa čistí vodou vysokej čistoty a vysuší sa plynom vysokej čistoty, aby sa získal konečný produkt.
Zváranie sa vo všeobecnosti používa pri zváraní. Je to preto, že zváranie môže zabezpečiť vysokú pevnosť a dobrú vzduchotesnosť potrubia. Pri pokládke potrubí sa ako ochranný plyn používa vysoko čistý inertný plyn, zvyčajne argón, a jeho vnútorný povrch je v kontakte s vysoko čistým plynom cez potrubie, aby sa zabránilo čo najväčšiemu zahrievaniu časti znečistenia a oxidácie na vysoké teploty. Okrem toho sa potrubie čistí argónom alebo dusíkom vysokej čistoty, aby sa odstránili tieto častice a stále zostáva v potrubí. Keď je plynovod dlhý a komplikovaný, napríklad plynovod, trvá to niekoľko dní až niekoľko týždňov. V poslednej dobe sa dôrazne požaduje zníženie nákladov pri výstavbe závodu na výrobu polovodičov a včasnej prevádzke závodu. Aby sa splnili tieto požiadavky, je teraz potrebné skrátiť čas čistenia.
Okrem vyššie uvedených vlastností musia mať potrubia a vysoko čisté plynové časti zváracie schopnosti, spojovú plochu potrebnú pre mechanické tesnenia a odolnosť proti opotrebeniu; keď sú časti, ako sú spoje, opracované, vyžaduje sa machova slabosť. Na druhej strane je známe, že špeciálne plyny s odolnosťou proti korózii a nekalytickými vlastnosťami, ktoré sú potrebné na výrobu polovodičových rúr alebo podobných plynov, môžu byť vylepšené zahrievaním povrchu nehrdzavejúcej ocele takým spôsobom Atmosféra, v takejto atmosfére, je kontrolovaný čiastočný tlak kyslíka. Stojí za zmienku, že objektívna látka potrubia je v tejto literatúre uvedená ako nehrdzavejúca oceľ SUS 316L.
Vyššie uvedená požadovaná odolnosť proti korózii a nekalytický výkon nie sú len pre plynovody. Rovnaký dopyt je tiež z nehrdzavejúcej ocele používanej v rôznych zariadeniach na výrobu polovodičov, z ktorých jeden má jemné spracovanie doštičiek. Austenitická nehrdzavejúca oceľ, najmä typ SUS 316L, sa používa hlavne ako materiál pre rúry a iné zariadenia. Japonská patentová publikácia Kokai č. 161145/1988 odhaľuje neštandardnú vysoko čistú austenitickú nehrdzavejúcu oceľ oceľových rúr používaných v čistých miestnostiach. Nekovové inklúzie obmedzujú zníženie obsahu mangánu, kremíka, hliníka a kyslíka, čím sa znižuje tvorba častíc z vnútorného povrchu potrubia.
Okrem toho Japonsko vydalo patentovú publikáciu č. 198463, 1989/, ktorá odhaľuje člena nehrdzavejúcej ocele pre zariadenia na výrobu polovodičov. Tieto členovia oxidujú plyn po elektrochemickom leštení nehrdzavejúcej ocele. Za určitých podmienok sa na ňom vytvorí oxidová vrstva s hrúbkou 100 až 500 angstrómov a zahrieva sa tak, že počet atómov Ni vo vonkajšej časti je Proporcionálne